Zondes uzgaļu remonta instrumenti tiek iedalīti kategorijās galvenokārt pēc zondes veida un pasivācijas pakāpes. Tajos ietilpst fiziski tīrīšanas instrumenti, ķīmiskās tīrīšanas iekārtas, elektroķīmiskās remonta ierīces un specializēti diagnostikas instrumenti. Šie rīki tiek izmantoti, lai atjaunotu viegli pasivētu zondes darbību vai noteiktu, vai zonde ir jāaizstāj.
I. Fiziskās tīrīšanas instrumenti: piemērots virsmas piesārņojumam vai vieglai oksidēšanai
1. Ultra-Smalki abrazīvie instrumenti
Īpaši-smalks smilšpapīrs (2000 graudains vai lielāks): izmanto virsmas oksīda slāņa pulēšanai uz metāla zondēm (piemēram, Pogo tapām vai multimetra testa vadiem), lai atjaunotu vadītspēju.
Neplūksna{0}} lupata + izopropilspirts (IPA): izmanto, lai noslaucītu traipus uz zondes galiem; vienkārši lietojams un piemērots ātrai apstrādei-uz vietas.
Mikro-vadāmais pulētājs: nodrošina kontrolētu zondes pulēšanu zem mikroskopa, novēršot pārmērīgu nodilumu.
Piemērojamie scenāriji: rūpniecisko testa zondu un ķēžu remonta adatu regulāra apkope.
2. Gaisa plūsmas un suku instrumenti
Slāpekļa pūšanas pistole: noņem putekļus, kas pielipuši zondes galiem, novēršot sekundāro piesārņojumu.
Ultraskaņas tīrīšanas līdzeklis: lieto kopā ar tīrīšanas šķīdumu, lai efektīvi noņemtu daļiņas un organiskās atliekas.
II. Ķīmiskā un elektroķīmiskā remonta aprīkojums: mērķtiecīga oksīda slāņu noņemšana
1. Ķīmiskās tīrīšanas šķīdumi
Atšķaidīta sālsskābe vai citronskābes šķīdums: izmanto, lai mērcētu metāla zondes (piemēram, volframa, berilija vara), lai izšķīdinātu virsmas oksīdus.
Specializēts elektroniskās zondes tīrīšanas šķidrums: komerciāli pieejami produkti (piemēram, DeoxIT D5), kas var droši noņemt oksīda plēves, nesabojājot pamatnes materiālu.
Piezīme. Nav piemērots AFM zondēm, kuru pamatā ir silīcijs{0}}, jo tās var korodēt konsoles struktūru.
2. Elektroķīmiskās remonta ierīces
Kontrolēta-strāvas elektrolīzes sistēma: noņem oksīdu slāņus, regulējot spriegumu un elektrolīta koncentrāciju, nemainot zondes ģeometrisko formu.
Mikro-elektrolītiskā šūna: īpaši paredzēta neliela-diametra zondēm, lai nodrošinātu lokalizētu tīrīšanu.
Priekšrocības: Augsta tīrīšanas precizitāte un minimāls bojājums; piemērots augstas -vērtības zondu uzturēšanai.
III. Specializētas apstrādes metodes nanomēroga zondēm (nav paredzētas lietošanai mājās)
1. Plazmas tīrītājs
Izmanto skābekļa plazmu, lai sadalītu organiskos piesārņotājus; plaši izmanto AFM un pusvadītāju zondu laboratorijas{0}}tīrīšanai.
Efektīvi uzlabo uzgaļu reaktivitāti un atjauno virsmas vadītspēju.
2. Fokusēta jonu stara (FIB) asināšana
Lai atjaunotu{0}}asu profilu, "izveido" uzgaļus atomu mērogā.
Augstas kvalitātes{0}}pētniecības tehnika, kas saistīta ar ievērojamām izmaksām, un to var izmantot tikai specializētos scenārijos.
Praktiski ierobežojumi: FIB iekārtas ir dārgas un sarežģītas ekspluatācijā; tai trūkst universālas vērtības kā remonta risinājumam, un tas parasti ir mazāk ekonomisks un uzticams nekā vienkārša zondes nomaiņa ar jaunu.
IV. Pēc-labošanas verifikācijas rīki: veiktspējas standartu ievērošanas nodrošināšana
1. Skenējošais elektronu mikroskops (SEM)
Tieši novēro galu morfoloģiju, lai noteiktu, vai izliekuma rādiuss ir atjaunots.
Laboratorijā kalpo kā autoritatīvākā metode uzgaļu neasuma novērtēšanai.
2. Baltās gaismas interferometrs/AFM paš-kalibrēšana
Netieši novērtē zondes stāvokli, izmantojot 3D virsmas rekonstrukciju vai standarta paraugu attēlveidošanu.
Piemērots ikdienas verifikācijai vidēs, kur nav pieejams SEM.
3. Standarta paraugu pārbaudes metode
Salīdzinošai skenēšanai izmanto paraugus ar zināmām struktūrām (piemēram, HOPG, difrakcijas režģa standartus).
Ja iegūtie attēli ir skaidri un bez paplašināšanas artefaktiem, tas norāda, ka zonde darbojas normāli.
